2026年青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍?cè)O(shè)備招標(biāo)
1.招標(biāo)條件
招標(biāo)項(xiàng)目名稱：青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍?cè)O(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

招標(biāo)人：國(guó)家電投集團(tuán)黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司

項(xiàng)目業(yè)主：青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司

立項(xiàng)情況：已立項(xiàng)

項(xiàng)目資金來源：資金由項(xiàng)目業(yè)主負(fù)責(zé)，現(xiàn)已落實(shí)到位

項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)進(jìn)行招標(biāo)

(登錄后查看)受招標(biāo)人委托，就對(duì)下述標(biāo)段進(jìn)行招標(biāo)。

2.項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1項(xiàng)目概況

詳見招標(biāo)文件。

2.2招標(biāo)范圍

標(biāo)段名稱

招標(biāo)范圍

工期要求

交貨地點(diǎn)

信息服務(wù)費(fèi)（元）

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍?cè)O(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

DNYZC-2026-01-12-011-02

招標(biāo)范圍

（1）主要設(shè)備：采購(gòu)真空蒸鍍?cè)O(shè)備1套，主要包括基片裝置、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)等，同時(shí)包含設(shè)備所必須的安裝附件及輔助設(shè)備、隨機(jī)文件、技術(shù)資料（包括操作手冊(cè)、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊(cè)），負(fù)責(zé)運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、檢驗(yàn)、驗(yàn)收并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。

（2）備品備件：掩膜版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35銅墊圈、匹配設(shè)備規(guī)格的密封圈等；

（3）專用工器具：拆卸、安裝、檢修設(shè)備時(shí)專用的工器具1套（包含外六方扳手、內(nèi)六方扳手、螺絲刀、扳手等工具）。

構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對(duì)該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。

2.3主要配置及技術(shù)參數(shù)

2.3.1真空蒸鍍?cè)O(shè)備主要配置

序號(hào)

性能指標(biāo)名稱

技術(shù)要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結(jié)構(gòu)

真空室采用304不銹鋼，腔體內(nèi)壁電解拋光處理，減少表?放?；須保留前后門，便于對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)


1.1.2

觀察窗

由保護(hù)玻璃、硬質(zhì)玻璃組合而成，需符合X射線防護(hù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)


1.1.3

腔體漏率

漏率優(yōu)于5.0×10-10Pa.m3/S，保壓12小時(shí)后，壓強(qiáng)≤5Pa。


1.2

蒸鍍真空系統(tǒng)

1.2.1

極限真空度

系統(tǒng)潔凈、空置時(shí)優(yōu)于5×10-5pa


1.2.2

分子泵

抽氣速率不小于3000L/s


1.2.3

機(jī)械泵

抽氣速率不小于25m3/h


1.2.4

真空測(cè)量時(shí)間

大氣環(huán)境萬級(jí)潔凈間氛圍下從常壓抽至≤5×10-4pa時(shí)間≤30min；


1.2.4

極限真空測(cè)量

測(cè)量范圍從1×105Pa到5.0×10-5Pa


1.2.4

真空密封

采用金屬密封和氟橡膠圈密封


1.3

蒸發(fā)室基片裝置

1.3.1

基片材料

導(dǎo)電玻璃


1.3.2

樣品尺寸

400mm×400mm的樣品且可向下兼容更多尺寸


1.3.3

基片托盤

通過電機(jī)旋轉(zhuǎn)0~30rpm可調(diào)


1.4

蒸發(fā)源和蒸發(fā)電源

1.4.1

蒸發(fā)源

配備2組金屬蒸發(fā)源和4組有機(jī)蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬、有機(jī)及無機(jī)材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板


1.4.2

金屬蒸發(fā)電源

配備可編程的直流穩(wěn)壓金屬蒸發(fā)電源1套，金屬蒸發(fā)電源功率≥1.5KW及以上，最高升溫溫度可達(dá)1500℃，且通過電流控制方式，精確到0.1A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01?/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制


1.4.3

有機(jī)蒸發(fā)電源

配備有機(jī)蒸發(fā)電源1套；可通過電流或PID智能溫控方式進(jìn)行控制（采用電流控制方式時(shí)需精確到0.1A，并實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率0.01?/s的精度顯示，可進(jìn)行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用PID智能溫控方式時(shí)控溫精度±1℃）；


1.4.4

控制系統(tǒng)

采用PLC+PC控制方式


1.4.5

安全保護(hù)措施
**信息由招標(biāo)與采購(gòu)網(wǎng)發(fā)布**此行內(nèi)容正式會(huì)員可見，請(qǐng)登錄中國(guó)招標(biāo)與采購(gòu)網(wǎng)后查看**
缺水欠壓檢測(cè)與保護(hù)、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù)。對(duì)泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設(shè)計(jì)及保護(hù)。


1.5

膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

1.5.1

膜厚儀

不少于1組膜厚儀，不少于2套膜厚檢測(cè)探頭


1.5.2

蒸發(fā)速率測(cè)量精度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)


1.5.3

膜厚儀測(cè)量精度

膜厚儀測(cè)量精度優(yōu)于±0.01?/s，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜且擋板關(guān)閉


1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT~700℃）


1.5.5

厚度測(cè)量精度

優(yōu)于±1?；具備與電源聯(lián)鎖功能


1.5.6

片內(nèi)膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測(cè)試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi)3×3排列9點(diǎn)測(cè)量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%


1.5.7

片間膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范圍內(nèi)的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標(biāo)方指定材料進(jìn)行驗(yàn)證），測(cè)試方法：薄膜有效區(qū)范圍內(nèi)3×3排列9點(diǎn)測(cè)量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。


1.6

自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)

開啟后根據(jù)用戶設(shè)置的升降溫和蒸發(fā)速率參數(shù)，自動(dòng)升溫加熱蒸發(fā)材料，按照制定速率蒸鍍，到達(dá)設(shè)定厚度后自動(dòng)關(guān)閉擋板，并降溫


1.7

水冷系統(tǒng)

1.7.1

冷水機(jī)

控溫范圍：5℃~30℃


1.8

工藝支持

投標(biāo)人提供C60和BCP作為鈣鈦礦器件電子傳輸層的蒸鍍工藝，保證招標(biāo)方在其他薄膜層制備條件不變時(shí)采用該工藝制備電子傳輸層的鈣鈦礦太陽能電池性能不低于招標(biāo)方使用旋涂法制備PCBM和BCP作為電子傳輸層的性能。


注：其他未列入本表的參數(shù)應(yīng)能滿足設(shè)備整體工藝安全運(yùn)行性能，并符合設(shè)備配置參數(shù)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

合同簽訂生效后90日內(nèi)整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求）

本項(xiàng)目位于陜西省

300

注：以上為參考參數(shù)和數(shù)量,具體參數(shù)、數(shù)量及招標(biāo)范圍以招標(biāo)文件相關(guān)內(nèi)容為準(zhǔn)。

3.投標(biāo)人資格要求及業(yè)績(jī)要求

標(biāo)段名稱

資格要求及業(yè)績(jī)要求

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司太陽能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室鈣鈦礦電池研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目真空蒸鍍?cè)O(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

DNYZC-2026-01-12-011-02

投標(biāo)人資格要求

投標(biāo)人基本資格要求

（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格；

（2）投標(biāo)人經(jīng)營(yíng)狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國(guó)”網(wǎng)站網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn),沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)；

（3）財(cái)務(wù)狀況及資信

近三年財(cái)務(wù)和資信狀況良好。沒有財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)或處于破產(chǎn)狀態(tài)。應(yīng)提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)；

專用資格條件

資質(zhì)要求

投標(biāo)人必須是在中華人民共和國(guó)市場(chǎng)監(jiān)管部門注冊(cè)的，具有獨(dú)立法人和一般納稅人資格的真空蒸鍍?cè)O(shè)備制造企業(yè)或代理企業(yè)。代理企業(yè)必須提供真空蒸鍍?cè)O(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對(duì)同一品牌、同一型號(hào)的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無效處理。

業(yè)績(jī)要求

投標(biāo)人應(yīng)具有近3年內(nèi)（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少3臺(tái)及以上同類型和功能的有效加工幅面不小于30mm*30mm蒸鍍?cè)O(shè)備供貨業(yè)績(jī)?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

4.資格后審

招標(biāo)人將根據(jù)投標(biāo)人提供的投標(biāo)文件在評(píng)標(biāo)階段對(duì)其進(jìn)行資格后審，對(duì)資格審查不合格投標(biāo)人，將不進(jìn)入下一階段評(píng)審，其后果由投標(biāo)人自行承擔(dān)。

5.招標(biāo)文件的獲取

5.1招標(biāo)文件發(fā)售方式本項(xiàng)目實(shí)行在線售賣招標(biāo)文件。

5.2招標(biāo)文件發(fā)售時(shí)間2026年1月12日23:59時(shí)至2026年1月18日23:59時(shí)（北京時(shí)間）。

本招標(biāo)項(xiàng)目?jī)H供正式會(huì)員查看，您的權(quán)限不能瀏覽詳細(xì)信息，請(qǐng)聯(lián)系辦理會(huì)員入網(wǎng)事宜，成為正式會(huì)員后可下載詳細(xì)招標(biāo)、報(bào)名表格、項(xiàng)目附件和部分項(xiàng)目招標(biāo)文件等。
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